Anggota VIP
Mikroskop Elektron Pemindaian Peluncuran Lapangan Resolusi Ultra Tinggi Seri SU8600
Dengan perkembangan teknologi pengambilan data dan pemrosesan data yang cepat, mikroskop elektron memasuki era yang menghargai tidak hanya kualitas da
Perincian produk
Mikroskop Elektron Pemindaian Peluncuran Lapangan Resolusi Ultra Tinggi Seri SU8600
Dengan perkembangan teknologi pengambilan data dan pemrosesan data yang cepat, mikroskop elektron memasuki era yang menghargai tidak hanya kualitas data tetapi juga proses pengambilannya. Seri SU8600 mematuhi teknologi pencitraan medan dingin seri Regulus 8200 dengan kualitas tinggi gambar, analisis beam besar dan operasi stabil selama waktu yang lama, sementara juga meningkatkan kemampuan pengambilan data otomatis dengan aliran tinggi.
- *
- Foto perangkat berisi opsi.
-
Fitur
-
Spesifikasi
Fitur
Fitur
Pemitraan resolusi tinggi
Sumber elektronik kecerahan tinggi Hitachi menjamin gambar dengan resolusi sangat tinggi bahkan pada tegangan pendaratan yang sangat rendah.
Contoh zeolit tipe RHO diamati dalam kondisi tegangan 0,8 kV. Gambar kiri adalah bentuk partikel secara keseluruhan, gambar kanan adalah gambar pembesaran, struktur tangga halus permukaan partikel terlihat dengan jelas. Pengamatan tegangan rendah lebih efektif untuk mengurangi kerusakan balok elektron dan mendapatkan informasi bentuk permukaan.
Contoh disediakan: Institut Komprehensif Teknologi Industri Jepang
Gambar penyebaran kembali tegangan akselerasi rendah dengan lapisan tinggi
Pengamatan 3D NAND;
Dalam kondisi tegangan akselerasi rendah, sinyal elektronik tersebar kembali dapat secara jelas menunjukkan perbedaan lapisan lapisan silikon oksida dan lapisan silikon nitrida.
Pengamatan 3D NAND (tegangan akselerasi: 1,5kV)
Gambar BSE Cepat: Detektor Elektron Penyebaran Kembali (OCD) yang Baru*
Dengan menggunakan detektor OCD baru, gambar struktur dalam yang jelas dari Fin-FET masih dapat diamati bahkan jika pemindaian kurang dari 1 detik.
Pengamatan struktur internal SRAM proses 5 nanometer (tegangan akselerasi: 30kV, waktu pemindaian < 1 detik)
Otomatisasi canggih*
EM Flow Creator memungkinkan pelanggan untuk membuat alur kerja otomatis untuk pengambilan gambar terus menerus. EM Flow Creator mendefinisikan berbagai fungsi SEM sebagai modul grafis seperti pengaturan pembesaran, pemindahan posisi sampel, penyesuaian jarak fokus dan kontras terang dan gelap. Pengguna dapat menggunakan mouse sederhana untuk menyeret modul-modul ini dalam urutan logis menjadi program kerja. Setelah debug dan konfirmasi, program ini dapat secara otomatis mendapatkan data gambar berkualitas tinggi dan dapat direproduksi setiap panggilan.
Antarmuka pengguna yang fleksibel
Dukungan asli untuk monitor ganda yang memberikan ruang operasi yang fleksibel dan efisien. 6 saluran ditampilkan dan disimpan secara bersamaan, memungkinkan pengamatan dan pengambilan sinyal multi-sinyal yang cepat.
Sinyal 1, 2, 4 atau 6 saluran dapat ditampilkan secara bersamaan pada layar yang sama, dengan konten yang dapat beralih termasuk detektor SEM serta kamera ruang sampel dan kamera navigasi. Ruang kerja dapat diperluas dengan menggunakan dua monitor, antarmuka pengguna yang dapat disesuaikan untuk meningkatkan produktivitas kerja.
Spesifikasi
| Model Mesin | Seri SU8600 | |
|---|---|---|
| Sistem optik elektronik | Resolusi seperti elektronik kedua | 0.6 nm@15 kV |
| 0.7 nm@1 kV * | ||
| Membesarkan | 20 to 2,000,000 x | |
| Senjata Elektronik | Sumber elektronik pemancaran medan dingin, mendukung fungsi berkedip fleksibel, termasuk sistem panggang anoda. | |
| Akselerasi tegangan | 0.5 to 30 kV | |
| Tegangan pendaratan | 0.01 to 20 kV | |
| Detektor | (sebagian sebagai pilihan) | Detektor Atas (UD) |
| Filter energi UD ExB dengan campuran sinyal SE/BSE | ||
| Detektor bawah (LD) | ||
| Detektor Atas (TD) | ||
| Filter energi TD | ||
| Detektor Elektron Penyebaran Belakang (IMD) | ||
| Detektor Elektron Penyebaran Kembali Semikonduktor (PD-BSED) | ||
| Detektor Elektron Penyebaran Kembali (OCD) | ||
| Detektor fluoresensi katod (CLD) | ||
| Pemindaian Detektor Transmisi (STEM Detector) | ||
| Aksesoris | (sebagian sebagai pilihan) | Kamera navigasi, kamera ruang sampel, spektrometer sinar-X (EDS), detektor difraksi elektron penyebaran belakang (EBSD) |
| Perangkat Lunak | (sebagian sebagai pilihan) | EM Flow Creator, HD Capture (hingga 40.960 x 30.720 piksel) |
| Meja sampel | Poros penggerak motor | 5 sumbu motor drive (X / Y / R / Z / T) |
| Poros penggerak motor | X：0~110 mm | |
| Y：0~110 mm | ||
| Z：1.5~40 mm | ||
| T：-5~70° | ||
| R：360° | ||
| Ruang sampel | Ukuran sampel | Diameter maksimum: 150 mm |
- *
- Dalam Mode Perlambatan
Kategori Produk Terkait
- Sistem balok ion fokus (FIB/FIB-SEM)
- Perangkat pra-pemrosesan sampel TEM/SEM
Penyelidikan online
-
Kontak
-
Perusahaan
-
Telepon
-
Email
-
WeChat
-
Kode Verifikasi
-
Kandungan Pesan
-